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    我開(kāi)發(fā)新型飛秒激光等離子激元光刻技術(shù) 可加工石墨烯
    2020-05-11 07:47:52 來(lái)源: 科技日?qǐng)?bào)
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      10日,記者從中科院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所獲悉,來(lái)自該所等單位的研究人員,開(kāi)發(fā)了一種新型飛秒激光等離子激元光刻技術(shù)(FPL)。利用該技術(shù),研究人員在百納米厚的硅基氧化石墨烯薄膜表面實(shí)現(xiàn)了高質(zhì)量微納周期結(jié)構(gòu)的快速制備。相關(guān)成果發(fā)表在《光:科學(xué)與應(yīng)用》上。

      石墨烯被發(fā)現(xiàn)以來(lái),二維材料逐漸進(jìn)入人們視野,成為材料領(lǐng)域的研究熱點(diǎn)。自組裝、電子束刻蝕和極紫外光刻等技術(shù)可以在石墨烯上制備微納結(jié)構(gòu),進(jìn)而調(diào)控其帶隙、吸收、載流子遷移率等性能。但這些技術(shù)存在著耗時(shí)長(zhǎng)、成本高、缺乏通用性等問(wèn)題。因此,如何降低成本,高效制備微納結(jié)構(gòu)石墨烯,是目前需要解決的重要問(wèn)題。

      飛秒激光加工技術(shù)憑借著超高峰值功率和超短脈沖持續(xù)時(shí)間的獨(dú)特優(yōu)勢(shì),被廣泛應(yīng)用于多種材料的超精細(xì)微納加工領(lǐng)域。然而,以激光直寫(xiě)為例,雖然其精度很高,但在超精細(xì)微納制備上,效率仍有待提高。同時(shí)保證加工精度和加工效率是該技術(shù)需要解決的主要問(wèn)題之一?!叭绾卫渺`活簡(jiǎn)便的加工手段解決加工精度和加工效率問(wèn)題是拓展飛秒激光實(shí)用化的關(guān)鍵所在?!敝锌圃洪L(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所研究員楊建軍說(shuō)。

      研究首次證明了FPL技術(shù)在二維薄膜材料上能夠?qū)崿F(xiàn)大面積高質(zhì)量亞微米周期結(jié)構(gòu)的快速制備。得益于飛秒激光的非線性光學(xué)特點(diǎn),F(xiàn)PL技術(shù)加工過(guò)程不易受材料表面缺陷、雜質(zhì)等因素的影響,加工基底也不易受到材料種類(lèi)的限制。加工材料表現(xiàn)出了優(yōu)異的機(jī)械性能,可以利用傳統(tǒng)的濕轉(zhuǎn)移法進(jìn)行完整轉(zhuǎn)移。這為相關(guān)材料周期性微納結(jié)構(gòu)的靈活制備奠定了基礎(chǔ)。(記者陸成寬)

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